Серия SEMI

Насосы SEMI серии DMS были разработаны специально для полупроводниковой промышленности. Весь процесс сборки этих уникальных насосов производится в особо чистом помещении класса 100 с двойной очисткой деталей, тестированием на деионизированной воде и, наконец, герметичной упаковкой в пластиковую пленку. Все части насосов серии SEMI T и SEMI Н, контактирующие с жидкостью, выполнены из PTFE и TFM. Корпус насосов серии SEMI E, контактирующий с жидкостью, выполнен из UPPE (ультра-чистого полиэтилена).

Части корпуса насоса SEMI S, которые контактируют с жидкостью сделаны из AISI Нержавеющая сталь 316L.